實時膜厚檢測儀

簡要描述：產地類別進口應用領域建材,電子,汽車,電氣實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。

產品型號：DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
廠商性質：代理商
更新時間：2023-07-27
訪問量：380

產品咨詢聯系我們

產品分類

詳細介紹

品牌	其他品牌

概要

實時的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環，系統能在監控區使用實時監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來進行終點檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。

特征

監測透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO₂ 和SiN。
適用于等離子體頻譜分析。
生產線使用內置軟件。
終點檢測法的靈活應用。
*的加工特點。

產品咨詢

留言框

產品：
您的單位：
您的姓名：
聯系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

上一篇：DS-50系列電導率計（臺式）
下一篇：EV-140C等離子發光分析終點檢測儀

午夜无码大尺度福利视频_痴汉网AV在线_日韩在线中文字幕_成年女人看片免费视频_亚洲最大av网站

實時膜厚檢測儀

概要

特征

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：